日本新宇宙XPS-7半导体材料气体检测仪

日本新宇宙XPS-7半导体材料气体检测仪
一、产品介绍
1、只要更换传感器单元就可以检测各种对象气体。
2、用盒式传感器单元*进行气体检测器校正。
3、可以大幅度削减本钱和维护时间。
二、产品参数
型号	XPS-7
检测原理	定电位电解式
检测气体对象	半导体材料气体
丈量范围	根据规格
分解能	全量程的百分之一表示
指示精度	FS±10%以内
报警模式	2段报警方式
报警fang式	蜂叫器(断续音)、报警deng闪烁
应答时间	60秒以内(60%应答)
电源	5号碱性干电池4节或AC**变压器
电池使用时间	连续12小时以上（使用碱性干电池无报警、20℃时）
外型尺寸	W62×H150×D128mm(**部分除外)
检测方式	泵吸引式
使用温度范围	0℃～40℃
重量	约1.3kg
附件	肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸2张
选购件	AC**变压器、传感器**通电台、数据收集配套元件
三、检测气体表：
对象气体一览表
型号	气体	F.S	型号	气体	F.S	型号	气体	F.S
XDS-7NH	NH3	100ppm	XDS-7GH	GeH4	1ppm	XDS-7HS	      H2S 50ppm
XDS-7SH	SiH4	25ppm	XDS-7CL	CL2	5ppm	XDS-7CO	CO	250ppm
XDS-7DC	SiH2CL2	25ppm	XDS-7CF	CLF3	1ppm	XDS-7DS	Si2H6	25ppm
XDS-7AH	  AsH3	250ppb	XDS-7HC	   气体HCL	25ppm	XDS-7F2	F2	5ppm
XDS-7PH	PH3	1ppm	XDS-7HF	HF	10ppm	XDS-7OZ	O3	1ppm
XDS-7BH	B2H6	500ppb	XDS-7HB	HBr	10ppm		
XDS-7SE	H2Se	250ppb	XDS-7NO	NO	100ppm